{"product_id":"ieej-zt171117","title":"電界制御下での同軸イオン加速法による低摩擦炭素薄膜の生成","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e1-117\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成29年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2017\/03\/05\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eLow friction carbon thin-film deposition under the electric field control by coaxial ion acceleration method.\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e石川 有宰(日本大学),山田 翔大(日本大学),芦澤 好人(日本大学),関口 純一(日本大学),浅井 朋彦(日本大学),高津 幹夫(平和電機),平塚 傑工(ナノテック)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eYusai Ishikawa(Nihon University),Shoudai Yamada(Nihon University),Yoshito Ashizawa(Nihon University),Jyunichi Sekiguchi(Nihon University),Tomohiko Asai(Nihon University),Mikio Takatsu(Heiwa Electric Co.,Ltd),Masanori Hiratsuka(Nanotec Corp,)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eダイヤモンドライクカーボン|電磁加速|電界制御\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003eダイヤモンドライクカーボン(Diamond-Like Carbon: DLC)は多岐にわたり応用されており，特にトライボロジー分野では摩擦係数低減を目的とした研究が行われている．この摩擦特性はDLCの水素含有率，結晶構造によって大きく変化することが知られている．本研究が対象とするDLC膜の生成手法は，同軸イオン加速法によるものであり，この手法では放電ガスが水素を含む必要がなく，また，放電ガスに水素をドープすることで，膜中の水素含有率を制御できる．また，本実験では，イオンの入射エネルギーの増大とマクロパーティクル除去のため，電界制御を組み合わせた．今回，金属基板に対し，同軸イオン加速法と電界制御を組み合わせて生成したDLC膜の摩擦係数の評価を行った．\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e230 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46401200095471,"sku":"IEEJ-ZT171117-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_77ddeb8a-2cf1-476f-a800-d796c39054fe.png?v=1744937139","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt171117","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}