{"product_id":"ieej-zt171163","title":"準大気圧定常アーク放電プラズマ装置の開発とその放電基礎特性","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e1-163\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成29年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2017\/03\/05\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eDevelopment of a steady-state, sub-atmospheric pressure arc discharge plasma device and its discharge characteristics\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e奥村 卓也(兵庫県立大学),菊池 祐介(兵庫県立大学),山田 耕平(ユメックス),前中 志郎(ユメックス),青田 達也(ユメックス),藤田 和宣(ユメックス),高村 秀一(愛知工業大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eTakuya Okumura(University of Hyogo),Yusuke Kikuchi(University of Hyogo),Kohei Yamada(YUMEX Inc.),Shiro Maenaka(YUMEX Inc.),Tatsuya Aota(YUMEX Inc.),Kazunobu Fujita(YUMEX Inc.),Shuichi Takamura(Aichi Institute of Technology)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eアーク放電|準大気圧|材料照射|アークランプ|熱プラズマ\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e精密微細加工（露光）技術等の産業界で利用されるショートアークランプでは，高気圧アーク放電の電流およびプラズマ流によって，陽極先端部の表面温度は3000 K以上にもなる。将来の高負荷化や長寿命化のために，高い熱放射特性を持つ繊維状ナノ構造を表面に施した革新的W電極の開発，W微粒子放出過程や放電特性の変化を明らかにする基礎研究，などが必要である。我々はこれらの背景の下，金属容器内にて準大気圧アーク放電プラズマを発生させる装置を開発した。初期結果として，Heガス圧力82 kPa，電極間距離1 mmの時，放電電流52 A，電圧39 V，電力2.0 kWにて，準大気圧定常Heアーク放電を安定に維持することに成功した。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e232 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46401210777839,"sku":"IEEJ-ZT171163-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_3a3f8166-8063-4621-8070-4fc6b5a2356b.png?v=1744937358","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt171163","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}