{"product_id":"ieej-zt172080","title":"イオン化蒸着法によるDLCの成膜と光学的特性の検討","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e2-080\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成29年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2017\/03\/05\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eOptical properties of Diamond Like Carbon Films Deposited by the Ion Plating Method\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e渡邉 学(日本大学),胡桃 聡(日本大学),松田 健一(日本大学),鈴木 薫(日本大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eGaku Watanabe(Nihon University),Satoshi Kurumi(Nihon University),Ken-ichi Matsuda(Nihon University),Kaoru Suzuki(Nihon University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eダイヤモンド状炭素|イオン化蒸着法|フォトルミネッセンス\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e現在，シリコン（Si）は半導体産業の中心となっており，様々な電子デバイスに使用されている．これまでに我々はSi半導体の代替材料としてDLC（Diamond Like Carbon）に着目し，イオン化蒸着法によってDLCのデバイス化について研究している(1)．DLCはダイヤモンド構造のsp3結合とグラファイト構造のsp2結合が混在したアモルファス構造である．このsp3結合，sp2結合の比率を変化させることによりDLCのEgが0.8 ? 3.3 eVの間で可変することが報告されている(2)．本稿ではイオン化蒸着法によるDLC成膜時の基板電圧とDLCのEgの依存性について実験的に検証した．\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e352 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46401227686127,"sku":"IEEJ-ZT172080-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_d614f997-b029-427a-9fac-fca0133c05ea.png?v=1744937744","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt172080","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}