{"product_id":"ieej-zt172102","title":"下地層利用によるSi基板上Nd-Fe-B系厚膜磁石の磁気特性改善","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e2-102\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成29年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2017\/03\/05\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eImprovement in magnetic properties of Nd-Fe-B thick film magnets deposited on Si substrates by taking advantage of underlayer\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e山口 雄太(長崎大学),清水 大(長崎大学),竹馬 雄(長崎大学),山下 昂洋(長崎大学),柳井 武志(長崎大学),中野 正基(長崎大学),福永 博俊(長崎大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eYuta Yamaguti(Nagasaki University),Dai Shimizu(Nagasaki University),Yu Chikuba(Nagasaki University),Akihiro Yamashita(Nagasaki University),Takeshi Yanai(Nagasaki University),Masaki Nakano(Nagasaki University),Hirotoshi Hukunaga(Nagasaki University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eNd-Fe-B系磁石|PLD|バッファ層\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e我々はPLD(Pulsed Laser Deposition)法を用い，熱酸化膜付きSi基板上に等方性Nd-Fe-B系磁石膜を成膜する際，Nd含有量を20 at. %以上に増加させることにより，熱処理時に生じる試料破壊を克服し，160 ?mまでの厚膜化を実現した。しかしながら，上記の化学量論組成に比べ多量に存在するNdは，保磁力を向上させるものの，残留磁気分極や(BH)maxの低下を招き，磁気特性向上の観点からは好ましくない。本研究では，磁石膜とSi基板の界面に人工的に(1) Nd下地層もしくは(2)Nd-richなNd-Fe-B下地層を設けた後，Nd含有量16 at. %以下のNd-Fe-B系厚膜磁石を成膜し，10?100 μm程度の膜厚範囲において，試料全体のNd含有量の低減を促し，磁気特性の向上を図ったので報告する。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e327 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46401232601327,"sku":"IEEJ-ZT172102-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_97780e0e-a25b-4f8d-b276-61d87884b6ab.png?v=1744937890","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt172102","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}