{"product_id":"ieej-zt173145","title":"誘電泳動集積法による電界効果トランジスタ型カーボンナノチューブガスセンサの作製","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e3-145\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成29年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2017\/03\/05\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eFabrication of carbon nanotube field effect transistor gas sensor by dielectrophoresis\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e大関 貴大(九州大学),金川 将也(九州大学),中野 道彦(九州大学),末廣 純也(九州大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eTakahiro Ozeki(Kyushu University),Masaya Kanagawa(Kyushu University),Michihiko Nakano(Kyushu University),Junya Suehiro(Kyushu University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e誘電泳動集積法|カーボンナノチューブ|電界効果トランジスタ\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e金属電極間をナノワイヤで橋絡した電子デバイスは、誘電泳動集積法(DEP)によって得られる。この手法では、集積と同時に電極間のインピーダンを測定することで、集積量を定量化することができる。我々は、DEPによって、シリコン層と絶縁体層の2層を有するウエハーの絶縁体層上のドレイン電極とソース電極間をカーボンナノチューブ(CNT)で橋絡させ、各金属電極とCNTを電気的に接続させた。加えて、シリコン層にゲート電極を配することで、電界効果トランジスタ(FET)型CNTガスセンサを作製した。作製したCNT-FETガスセンサのサブスレッショルド係数は最小で約5V\/decとなった。これより、電極間に集積したCNTの量とサブスレッショルド係数を関連づけることが出来る。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e491 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46401258193135,"sku":"IEEJ-ZT173145-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_3c3e1d1c-3a91-4ef8-824e-b6c7353ee477.png?v=1744938488","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt173145","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}