{"product_id":"ieej-zt174230","title":"自動調整機能を備えたアクティブ除振システムの開発","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e4-230\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成29年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2017\/03\/05\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eDevelopment of Active Anti-Vibration System with Auto Tuning Function\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e加藤 孝宜(日立製作所),高橋 宗大(日立製作所),渡辺 成夫(日立製作所)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eTakanori Kato(Hitachi, Ltd., Research \u0026amp; Develpment Group),Motohiro Takahashi(Hitachi, Ltd., Research \u0026amp; Develpment Group),Naruo Watanabe(Hitachi, Ltd., Research \u0026amp; Develpment Group)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eアクティブ除振|自動調整\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e半導体や液晶ディスプレイの製造装置では、加工精度向上の観点から装置振動低減の要求が高まっており、アクティブ除振システムの導入が検討されている。従来のアクティブ除振システムは、装置設置環境により床振動周波数が変化した場合、十分な除振性能を得るためにはシステムの調整が必要であった。そこで、本研究では、様々な設置環境で最適な除振性能を実現するため、自動調整可能なアクティブ除振システムを開発し、実験検証を行った。その結果、一般的な床振動の周波数帯域(1?10 Hz)内で振動周波数が変化した場合でも、除振率-10 dBを達成した。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e394 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 2","offer_id":46401144946927,"sku":"IEEJ-ZT174230-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_60cb3953-6899-4e35-a034-6d363451bf43.png?v=1744935741","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt174230","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}