{"product_id":"ieej-zt181085","title":"大気圧高周波Heプラズマにおける放電モードの遷移メカニズムに関する数値解析","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e1-085\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成30年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2018\/03\/05\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eNumerical Analysis on Discharge Mode Transition Mechanism of Atmospheric-Pressure and Radio-Frequency He Plasmas\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e小嶋 正宏(千葉工業大学),大木 一真(千葉工業大学),小森 郷平(千葉工業大学),小田 昭紀(千葉工業大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eMasahiro Kojima(Chiba Institute of Technology),Kazuma Ohki(Chiba Institute of Technology),Kyohei Komori(Chiba Institute of Technology),Akinori Oda(Chiba Institute of Technology)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e大気圧非平衡プラズマ,ヘリウム,シミュレーション\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e非平衡大気圧プラズマは、薄膜形成や微細加工技術などの材料プロセス分野や、バイオ・医療分野など幅広い産業分野へ応用されている。その際、特に高周波大気圧プラズマにおける放電モードに着目すると、放電空間内での電離作用で放電維持されるαモードと、電極へのイオン衝撃により放出された2次電子の作用で放電維持されるγモードが確認されている。しかしながら、これらαモードからγモードへの遷移メカニズムの解明は十分に進んでおらず、いまだ未解明な点が多いのが現状である。そこで本研究では、シミュレーションにより本プラズマの放電モードの遷移メカニズムについて解析することを目的とした。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e424 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46401495073007,"sku":"IEEJ-ZT181085-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_cda1822f-5415-4400-b6df-c877491090d4.png?v=1744946123","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt181085","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}