{"product_id":"ieej-zt181116","title":"準大気圧プラズマCVDによる高濃度CF4原料ガスからのフルオロカーボン膜の成膜特性","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e1-116\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成30年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2018\/03\/05\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル：\u003c\/strong\u003e準大気圧プラズマCVDによる高濃度CF\u003csub\u003e4\u003c\/sub\u003e原料ガスからのフルオロカーボン膜の成膜特性\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eFormation characteristics of fluorocarbon film from concentrated CF\u003csub\u003e4\u003c\/sub\u003e feedstock gas by sub-atmospheric pressure plasma enhanced chemical vapor deposition\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e木倉 丈(大阪大学),田中 智之(大阪大学),竹本 啓輝(大阪大学),垣内 弘章(大阪大学),安武 潔(大阪大学),大参 宏昌(大阪大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eJou Kikura(Osaka University),Tomoyuki Tanaka(Osaka University),Hiroki Takemoto(Osaka University),Hiroaki Kakiuchi(Osaka University),Kiyoshi Yasutake(Osaka University),Hiromasa Ohmi(Osaka University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e準大気圧プラズマ,プラズマ重合フルオロカーボン膜,プラズマCVD,CF4\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003ePPFC(Plasma Polymerization Fluorocarbon)膜は，電気絶縁性,耐薬品性,撥水生を有する機能膜として様々な応用が期待されている．しかし，その原料ガスには,C\u003csub\u003e4\u003c\/sub\u003eF\u003csub\u003e8\u003c\/sub\u003eやC\u003csub\u003e6\u003c\/sub\u003eF\u003csub\u003e6\u003c\/sub\u003eなど高次の炭素を含有するフルオロカーボンガスが用いられることがもっぱらであり,PPFC膜の形成を廉価なCF\u003csub\u003e4\u003c\/sub\u003eで実現できれば,コストメリットは大きい．そこで本研究ではCF\u003csub\u003e4\u003c\/sub\u003e原料ガスからのPPFC膜の高速形成を目指し，高圧・高濃度雰囲気下でのプラズマCVD法を試みた.今回はPPFC膜の形成に寄与するパラメータを調査した結果を報告する.\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e619 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46401497235695,"sku":"IEEJ-ZT181116-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_5695e722-b320-47e2-bbac-6e98b2b7b4ef.png?v=1744946307","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt181116","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}