{"product_id":"ieej-zt181117","title":"変調誘導熱プラズマ照射による多結晶ダイヤモンド膜堆積へのCH4\/H2流入量の影響","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e1-117\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成30年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2018\/03\/05\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル：\u003c\/strong\u003e変調誘導熱プラズマ照射による多結晶ダイヤモンド膜堆積へのCH\u003csub\u003e4\u003c\/sub\u003e\/H\u003csub\u003e2\u003c\/sub\u003e流入量の影響\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eInfluence of CH\u003csub\u003e4\u003c\/sub\u003e\/H\u003csub\u003e2\u003c\/sub\u003e Gas Flow Rate to Modulated Induction Thermal Plasmas on Polycrystalline Diamond Deposition\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e荒井 隆志(金沢大学),別院 利城(金沢大学),田中 康規(金沢大学),上杉 喜彦(金沢大学),石島 達夫(金沢大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eTakashi Arai(Kanazawa University),Toshiki Betsuin(Kanazawa University),Yasunori Tanaka(Kanazawa University),Yoshihiko Uesugi(Kanazawa University),Tatsuo Ishizima(Kanazawa University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e変調誘導熱プラズマ,原料ガス流入量,多結晶ダイヤモンド膜生成\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e本報告では，Si基板に，変調誘導熱プラズマ(MITP)を照射して多結晶ダイヤモンド膜生成実験をおこなった。誘導熱プラズマ(ICTP)は，高温かつ熱容量が大きく，クリーンな反応場を生成できるという利点から，超高速材料プロセスへの応用が期待されている。筆者らは，このICTP をダイヤモンド膜生成に応用することを考えている。これまでの実験から，MITP照射時のほうが無変調ICTP照射時より基板表面に一様に多結晶ダイヤモンド膜が生成できた。今回，MITPの高温部に流入する原料ガス CH\u003csub\u003e4\u003c\/sub\u003e\/H\u003csub\u003e2\u003c\/sub\u003eの流量を変更してSi基板に照射することで，多結晶ダイヤモンド膜生成に及ぼす影響を検討した。その結果，CH\u003csub\u003e4\u003c\/sub\u003e\/H\u003csub\u003e2\u003c\/sub\u003eの流量を増やすことで，多結晶ダイヤモンド膜の生成レートが向上した。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e956 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46401497497839,"sku":"IEEJ-ZT181117-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_cea43936-a9d5-4229-ac42-635b7328cc5b.png?v=1744946310","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt181117","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}