{"product_id":"ieej-zt181121","title":"カーボン薄膜の選択プラズマCVD","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e1-121\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成30年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2018\/03\/05\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eSelective Plasma CVD of Carbon Films\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e白谷 正治(九州大学),TAOJUN FANG(九州大学),山木 健司(九州大学),徐 鉉雄(九州大学),板垣 奈穂(九州大学),古閑 一憲(九州大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eMasaharu Shiratani(Kyushu University),Taojun Fang(Kyushu University),Kenji Yamaki(Kyushu University),Hyunwoong Seo(Kyushu University),Naho Itagaki(Kyushu University),Kazunori Koga(Kyushu University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eプラズマCVD,カーボン薄膜\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003eカーボン薄膜は、高いガスバリア性・低摩擦性・耐摩耗性・耐焼き付き性・耐食性などの優れた特長を有しているため、自動車部品や機械部品などの摺動部、工具や金型の表面処理、さらには半導体デバイスプロセスにおける保護膜など、多様な用途がある。多くの用途において下地や形状などの違いを利用し、選択的にカーボン薄膜を堆積する技術が求められている。本論文では、プラズマCVDによりカーボン薄膜を選択的に堆積する技術について報告する。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e418 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46401497792751,"sku":"IEEJ-ZT181121-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_614e905e-064f-4c7e-937a-8d2bd8cb9a53.png?v=1744946327","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt181121","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}