{"product_id":"ieej-zt182106","title":"Si基板上Nd-Fe-B系磁石膜の厚膜化","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e2-106\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成30年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2018\/03\/05\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eIncrease in thickness of Nd-Fe-B film magnets deposited on Si substrates\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e山口 雄太(長崎大学),清水 大(長崎大学),山下 昂洋(長崎大学),柳井 武志(長崎大学),中野 正基(長崎大学),福永 博俊(長崎大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eYuta Yamaguchi(Nagasaki University),Dai Shimizu(Nagasaki University),Akihiro Yamashita(Nagasaki University),Takeshi Yanai(Nagasaki University),Masaki Nakano(Nagasaki University),Hirotoshi Fukunaga(Nagasaki University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eNd-Fe-B系磁石,PLD法,酸化膜,Si基板,下地層\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003eスパッタリング法を用いてSi基板上にNd-Fe-B系磁石膜を成膜した報告がなされる中，基板と磁石膜の著しく異なる線膨張係数により，成膜時もしくは熱処理時に応力が生じ， Nd-Fe-B系磁石膜がSi基板より剥離する現象が報告されている。一方，我々はPLD法を用い，500 nm厚の熱酸化膜付きSi基板上にNd-Fe-B系磁石膜を成膜し，熱処理過程を通じ試料が破壊される際，剥離ではなく，Si基板の内部より壊れる現象を確認している。本研究では，様々な「Nd含有量」や「厚み」を有するNd-Fe-B系磁石膜を準備し，Si基板上の酸化膜の厚みが「磁石膜の剥離」や「Si基板の破壊」に及ぼす影響を検討した。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e254 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46401508802799,"sku":"IEEJ-ZT182106-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_70f10d68-79a8-4162-9e42-61d013ace194.png?v=1744947083","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt182106","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}