{"product_id":"ieej-zt183147","title":"触覚熱流センサのための薄膜サーミスタ作製","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e3-147\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成30年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2018\/03\/05\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eProduction of Thin Film Thermistor for Tactile Heat Flow Sensor\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e菅沼 雄介(名城大学),大橋 祐也(名城大学),佐々木 実(豊田工業大学),野々村 裕(名城大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eYusuke Suganuma(Meijo University),Yuya Ohashi(Meijo University),Minoru Sasaki(Toyota Technological Institute),Yutaka Nonomura(Meijo University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eロボット,触覚,熱流,温熱感,薄膜,サーミスタ\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003eアシスタントロボットには触れたものの識別、人間との触れ合いを含めたコミュニケーション能力が求められる。触覚に温熱感を導入することで、接触材料推定が可能となる。温熱感を実現するためには熱流を測定する必要がある。そこで、温度差を能動的に発生させる薄膜ヒータと薄膜サーミスタを合わせた熱流センサを提案する。この熱流センサのためにAl-Ti-N系薄膜サーミスタを反応性スパッタリングにより成膜した。膜厚500nm、N2比率10%、成膜温度250℃で得られた赤褐色膜を熱処理し、B定数500Kのサーミスタ膜が作製できた。薄膜サーミスタの感度と膜の安定性を向上させ、薄膜ヒータと薄膜サーミスタを一体化した薄膜熱流センサの実現を目指す。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e844 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46401461092591,"sku":"IEEJ-ZT183147-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_fe7caddc-45ec-4150-8bea-e5f5413742aa.png?v=1744943676","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt183147","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}