{"product_id":"ieej-zt183171","title":"P(VDF\/TrFE)薄膜を用いた高周波型MEMS超音波センサの開発","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e3-171\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成30年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2018\/03\/05\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eDevelopment of High Frequency Type MEMS Ultrasonic Sensor Using P(VDF\/TrFE) Thin Films\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e田中 恒久(大阪産業技術研究所),村上 修一(大阪産業技術研究所),宇野 真由美(大阪産業技術研究所),佐藤 和郎(大阪産業技術研究所)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eTsunehisa Tanaka(Osaka Research Institute of Industrial Science and Technology),Shuichi Murakami(Osaka Research Institute of Industrial Science and Technology),Mayumi Uno(Osaka Research Institute of Industrial Science and Technology),Kazuo Satoh(Osaka Research Institute of Industrial Science and Technology)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e超音波センサ,MEMS,P(VDF\/TrFE)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e空中超音波センサを用いれば物体形状の非破壊測定が可能である。物体計測時に空間分解能を向上させるために超音波センサの高周波化が求められている。今回は超音波センサの高周波化の課題に対応するために、超音波センサ構造の改良を行い、共振周波数200kHz級の超音波センサの開発を行ったので報告する。異なるダイアフラム構造のセンサを3種類設計し、受信感度と共振周波数を測定し、最適な構造を探索した。試作実験の結果、共振周波数が200kHz付近にあり、かつ受信感度が良好なMEMS超音波センサの作製に成功した。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e689 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 2","offer_id":46401529970927,"sku":"IEEJ-ZT183171-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_bc10b31f-b821-42e9-9cbe-dedb72986341.png?v=1744947578","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt183171","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}