{"product_id":"ieej-zt183186","title":"スパッタ成長ZnO単結晶層の水素ガス応答に関する検討","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e3-186\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成30年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2018\/03\/05\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eStudy on hydrogen gas response of single-crystalline ZnO layer grown by sputter epitaxy\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e藤川 明日香(東京電機大学),安藤 毅(東京電機大学),信太 智貴(東京電機大学),小倉 康平(東京電機大学),久米井 俊哉(東京電機大学),水野 愛(東京電機大学),篠田 宏之(東京電機大学),六倉 信喜(東京電機大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eAsuka Fujikawa(Tokyo Denki University),Ki Ando(Tokyo Denki University),Tomoki Shinta(Tokyo Denki University),Kohei Ogura(Tokyo Denki University),Toshiya Kumei(Tokyo Denki University),A-i Mizuno(Tokyo Denki University),Hiroyuki Shinoda(Tokyo Denki University),Nobuki Mutsukura(Tokyo Denki University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eガスセンサ,水素センサ,酸化亜鉛,スパッタリング法,単結晶層\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e本研究では，高感度なH2ガスセンシングを目的として，ZnO単結晶層を用いた半導体式ガスセンサを作製し，H2ガス濃度や動作温度に対する感度特性の検討を行った。センサ材料には，超高真空マグネトロンスパッタリング法により，Al2O3基板上にエピタキシャル成長したZnO単結晶層を用いた。その結果，動作温度300 ℃，H2ガス濃度0.1 %で充分な感度が確認できた。また，高温条件ほど感度の向上が見られたため，今後さらに高温での検討を行うことにより，10 ppm程度における応答も可能であると考えられる。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e537 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46401539277039,"sku":"IEEJ-ZT183186-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_6c9d0e70-bccf-49b0-8a67-63cd51f4d0bd.png?v=1744947601","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt183186","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}