{"product_id":"ieej-zt184001","title":"走査型プローブ顕微鏡によるSi製ファストリカバリーダイオードの表面電位観測","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e4-001\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成30年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2018\/03\/05\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eObservation of a surface potential on Si-fast recovery diode using scanning probe microscopy\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e潤間 威史(静岡大学),佐藤 宣夫(千葉工業大学),山本 秀和(千葉工業大学),岩田 太(静岡大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eTakeshi Uruma(Shizuoka University),Nobuo Satoh(Chiba Institute of Technology),Hidekazu Yamamoto(Chiba Institute of Technology),Futoshi Iwata(Shizuoka University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eファストリカバリーダイオード,走査型プローブ顕微鏡,ケルビンプローブ力顕微鏡,オペランド計測,パワーデバイス\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e走査型プローブ顕微鏡の一つである，FM-AFM\/KFMを構築し，デバイスへの電圧印加下において，局所電子物性評価を行った．試料は市販のシリコン製ファストリカバリーダイオード(Si-FRD)を断面研磨したものを用意し，バイアス印加下による電荷の挙動を観察した．今回の報告では，FRDへ順方向バイアス 1.5 V(865 mA)を印加し，伝導度変調状態における観察からドリフト層の幅を35.2μmと見積もった．理論曲線から予想されるドリフト層の幅と比較したところ，良い対応を示すことが分かった．当該Si-FRDの観察から，マイクロ・ナノスケールの構造に起因するデバイス物理を実測する場合，導通時を含む，バイアス印加状態での解析が有益であると考えられる．\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e488 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46401540849903,"sku":"IEEJ-ZT184001-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_634ea133-74c5-4ca5-912e-0b5d8cd5aad5.png?v=1744947628","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt184001","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}