{"product_id":"ieej-zt193191","title":"誘電泳動集積法を用いたFET型カーボンナノチューブガスセンサの作製とNO2検出","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e3-191\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成31年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2019\/03\/01\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eDetection of NO2 by field effect transistor carbon nanotube gas sensor using dielectrophoresis\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e行部 晃生(九州大学),尾崎 圭佑(九州大学),中野 道彦(九州大学),末廣 純也(九州大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eKosei Gyobu(Kyushu University),Keisuke Ozaki(Kyushu University),Michihiko Nakano(Kyushu University),Junya Suehiro(Kyushu University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e電界効果トランジスタ,カーボンナノチューブ,ガスセンサ\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e本研究の目的は誘電泳動集積法を用いたFET型CNTガスセンサの作製とそのセンサを用いたNO2応答の取得である。Si基板上にスパッタリング、フォトリソグラフィとエッチングによりCr電極を作製した。Si基板背面はフッ酸により酸化膜を除去した。誘電泳動集積法により純度99.9%の半導体CNTを電極間に集積した。作製したガスセンサをチャンバ内に設置しN2中でゲート電圧-ドレイン電流測定をした。次に、チャンバ内にN2100秒間供給し、その後NO2 20ppm を300秒供給し、この時の時間-ドレイン電流測定をした。作製したCNT-FETのオンオフ比は約7.2倍であり、閾値は5V付近で確認された。規格化応答は閾値にほぼ近いゲート電圧Vg=5Vの時最大となり、約27であった。このFET型センサの応答は抵抗型に比べて約1.9倍であった。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e288 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 2","offer_id":46401741684975,"sku":"IEEJ-ZT193191-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_f6f79598-0671-45d0-b12d-ca1d92bb8f1a.png?v=1744953576","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt193191","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}