{"product_id":"ieej-zt20201-085","title":"マイクロ波励起の水プラズマによるレジスト除去速度の面内均一性の改善","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e1-085\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】令和2年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2020\/03\/01\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eImprovement of Photoresist Removal Rate Uniformity in a Wafer Using Microwave Excited Water Plasma\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e櫻井匡（金沢大学）,相澤洸（金沢大学）,島田大伸（金沢大学）,石島達夫（金沢大学）,田中康規（金沢大学）,上杉喜彦（金沢大学）,中野裕介（金沢大学）\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eTasuku Sakurai (School of Electrical and Computer Engineering),Takeshi Aizawa (School of Electrical and Computer Engineering),Taishin Shimada (School of Electrical and Computer Engineering),Tatsuo Ishijima (School of Electrical and Computer Engineering),Yasunori Tanaka (School of Electrical and Computer Engineering),Yoshihiko Uesugi (School of Electrical and Computer Engineering),Yusuke Nakano (School of Electrical and Computer Engineering)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eプラズマ|マイクロ波|レジスト除去|均一性|プラズマ|マイクロハ|レジストジョキョ|キンイツセイ\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e我々は新規レジスト除去手法として，マイクロ波励起水プラズマアッシング法の研究開発を進めている。本手法は現在主流である薬液処理法及び酸素プラズマアッシング処理法に比べ，環境負荷が小さい，基板への熱的影響が少ない，高速なレジスト除去という利点がある。課題として，ウェハ面内のレジスト除去速度の不均一性がある。ウェハ中心部と外周部でアッシングレートに差があり，中心部ではレジストが除去された後の下地に過剰にプラズマが照射されることに伴うデバイスへのダメージが懸念される。本研究ではプラズマ照射距離を変更してレジスト付きウェハにプラズマを照射し，照射距離とレジスト除去速度の面内均一性との相関を評価した。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e本誌掲載ページ: \u003c\/strong\u003e108-109 p\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46402113011951,"sku":"IEEJ-ZT20201-085-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_5948d354-2299-4a68-a1d5-3df34ef6286e.png?v=1744972946","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt20201-085","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}