{"product_id":"ieej-zt20201-114","title":"Ar\/N2ループ型誘導熱プラズマを用いたSi基板窒化度の窒素流量依存性","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e1-114\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】令和2年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2020\/03\/01\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル：\u003c\/strong\u003eAr\/N\u003csub\u003e2\u003c\/sub\u003eループ型誘導熱プラズマを用いたSi基板窒化度の窒素流量依存性\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eNitrogen Flow Rate Dependence in Nitridation Degree of Si Substrate using Ar\/N\u003csub\u003e2\u003c\/sub\u003e Loop Type of Induction Thermal Plasmas\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e杉山祐樹（金沢大学）,大関元紀（金沢大学）,田中康規（金沢大学）,中野裕介（金沢大学）,石島達夫（金沢大学）,上杉喜彦（金沢大学）,幸本徹哉（シー・ヴィー・リサーチ）,川浦廣（シー・ヴィー・リサーチ）\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eYuki Sugiyama (Kanazawa University),Genki Ohzeki (Kanazawa University),Yasunori Tanaka (Kanazawa University),Yusuke Nakano (Kanazawa University),Tatsuo Ishijima (Kanazawa University),Yoshihiko Uesugi (Kanazawa University),Tetsuya Yukimoto (CV Research Corporation),Hiroshi Kawaura (CV Research Corporation)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eループ型誘導熱プラズマ|表面改質|窒化|Si基板|ループガタユウドウネツプラズマ|ヒョウメンカイシツ|チッカ|Siキバン\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e筆者らはこれまでに，熱プラズマによる大面積処理を目的として，ループ型誘導熱プラズマ(loop-ICTP) 装置を開発している。ループ型誘導熱プラズマは，ループ型石英容器を円型コイルで挟み込み，ループ面に垂直に高周波の交番磁界を印加して，プラズマを維持するものである。このloop-ICTP の下流に基板を設置すると，横方向に長い熱プラズマを基板に照射することができる。これまでに，Si 基板， SiC 基板およびTi 基板の酸化および窒化試験を行っており，O2 あるいはN2\/H2 などの分子性ガスを導入した場合においてもloop-ICTP を維持できることを確認している。本検討では，本装置による窒化表面処理を対象とし，Si 基板表面窒化度合いの窒素流量依存性を検討した。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e本誌掲載ページ: \u003c\/strong\u003e138-139 p\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46402114683119,"sku":"IEEJ-ZT20201-114-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_dadc2b31-2d04-4016-aefe-2bf426e6b567.png?v=1744973064","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt20201-114","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}