{"product_id":"ieej-zt20201-121","title":"表面改質の大面積化に向けたレーストラック型誘導熱プラズマ装置の開発","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e1-121\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】令和2年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2020\/03\/01\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eDevelopment of Race-Track Type Inductively Coupled Thermal Plasma for Large Area Processes of Surface Modification\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e大関元紀（金沢大学）,杉山祐樹（金沢大学）,田中康規（金沢大学）,中野裕介（金沢大学）,上杉喜彦（金沢大学）,石島達夫（金沢大学）,幸本徹哉（シー・ヴィ・リサーチ）,川浦廣（シー・ヴィ・リサーチ）\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eGenki Ozeki (Kanazawa University),Yuki Sugiyama (Kanazawa University),Yasunori Tanaka (Kanazawa University),Yusuke Nakano (Kanazawa University),Yoshihiko Uesugi (Kanazawa University),Tatsuo Ishijima (Kanazawa University),Tetsuya Yukimoto (CV Research Corporation),Hiroshi Kawaura (CV Research Corporation)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e筆者らはこれまでに，熱プラズマによる材料の大面積処理を目的として，ループ型誘導熱プラズマ(loop-ICTP) 装置を開発してきた。ループ型誘導熱プラズマは，ループ型石英容器を円型コイルで挟み込み，ループ面に垂直に高周波の交番磁界を印加して，プラズマを維持するものである。このループ型誘導熱プラズマ(ICTP) をさらなる大面積での表面改質に適用するためには，プラズマの安定性および一様性を向上させることが挙げられる。この目的のために，筆者らはレーストラック型トーチを新たに開発した。本検討では，開発したレーストラック型ICTP のプラズマ維持試験を行い，生成したAr プラズマおよびAr\/N2 プラズマの安定性の検証をした。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e本誌掲載ページ: \u003c\/strong\u003e145-146 p\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46402116747503,"sku":"IEEJ-ZT20201-121-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_5ca157d3-c52a-4959-8050-9780a060f725.png?v=1744973094","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt20201-121","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}