{"product_id":"ieej-zt20201-126","title":"準大気圧高繰り返しナノ秒パルスグロー放電を用いた DLC 成膜（II）","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e1-126\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】令和2年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2020\/03\/01\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003ePreparation of DLC films using a high-repetition nanosecond pulsed glow discharge plasma under sub-atmospheric pressure (II)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e井岡克也（兵庫県立大学）,菊池祐介（兵庫県立大学）,平野涼（兵庫県立大学）,八束充保（兵庫県立大学）\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eKatsuya Ioka (University of Hyogo),Yusuke Kikuchi (University of Hyogo),Ryo Hirano (University of Hyogo),Mitsuyasu Yatsuzuka (University of Hyogo)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e準大気圧プラズマ|ダイヤモンドライクカーボン成膜|高繰り返しナノ秒パルスグロー放電|ジュンタイキアツプラズマ|ダイヤモンドライクカーボンセイマク|コウクリカエシナノビョウパルスグローホウデン\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003eDLCは高硬度，絶縁性などの優れた特性を有し，表面コーティング等に利用されている。従来技術では，低ガス圧プラズマCVD法を用いて成膜が行われているため，成膜レートが低いことが課題となっていることから，準大気圧・大気圧プラズマを用いた高速DLC成膜が期待されている。これまで，ガス圧1.2 kPaの準大気圧領域でDLC成膜を行ったところ，硬度13 GPa，成膜レート0.22 μm\/min を得ている。本研究では，成膜メカニズムの解明と膜質の制御を目的とし，プロセスガスの窒素ガス混合率をパラメータとして成膜実験を行った。その結果，窒素ガス混合率の増加に伴い，膜質及び硬度の変化が確認された。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e本誌掲載ページ: \u003c\/strong\u003e150-151 p\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46402117042415,"sku":"IEEJ-ZT20201-126-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_e7345384-fd5a-4cd8-98b7-3f06ef9857e6.png?v=1744973111","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt20201-126","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}