{"product_id":"ieej-zt20202-026","title":"PZT-MEMSを用いた高分解能圧力波検出センサの開発","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e2-026\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】令和2年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2020\/03\/01\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eDevelopment of High Positional Resolution Pressure Wave Detection Sensor using PZT-MEMS\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e小林史也（東京都市大学）,小原昌悟（東京都市大学）,三宅弘晃（東京都市大学）,田中康寛（東京都市大学）,神田健介（兵庫県立大学）\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eFumiya Kobayashi (Tokyo City University),Shogo Obara (Tokyo City University),Hiroaki Miyake (Tokyo City University),Yasuhiro Tanaka (Tokyo City University),Kensuke Kanda (University of Hyogo)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eチタン酸ジルコン酸鉛|高位置分解能|PEA法|チタンサンジルコンサンナマリ|コウイチブンカイノウ|ピーイーエーホウ\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e近年、多くの電気機器が普及し、機器の小型・高性能化により、使用される厚さ数マイクロメートルオーダーの絶縁材料の絶縁性能の評価が望まれている。当研究グループでは薄膜絶縁材料の評価を行うために、測定装置の位置分解能の向上を図ってきた。これまでに、厚さ25 ?m程度の試料の評価を行うことが可能である、位置分解能2.5～3 ?m程度の測定装置の開発に成功した。今回、測定装置のさらなる高位置分解能化に向け、チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)を用いた圧力波検出用センサの開発を行った。パルス圧力波入力した際のPZTからの出力信号を計測・評価を行った。試験結果より、パルス圧力による応答性は確認する事が出来た。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e本誌掲載ページ: \u003c\/strong\u003e30-31 p\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46402120417519,"sku":"IEEJ-ZT20202-026-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_a4f38126-789e-4b41-9363-f57304ea67fe.png?v=1744973255","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt20202-026","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}