{"product_id":"ieej-zt20203-143","title":"パリレン常温真空封止を用いた静電容量式CMOS-MEMS圧力センサ","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e3-143\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】令和2年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2020\/03\/01\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eCapacitive CMOS-MEMS Pressure Sensors using Room Temperature Vacuum Sealing by Parylene Coating\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e野口駿太（東京電機大学）,小松聡（東京電機大学）\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eShunta Noguchi (Tokyo Denki University),Satoshi Komatsu (Tokyo Denki University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eCMOS-MEMS圧力センサ|静電容量式センサ|CMOSプロセス|パリレンコート|常温真空封止|シーモスメムスアツリョクセンサ|セイデンヨウリョウシキセンサ|シーモスプロセス|パリレンコート|ジョウオンシンクウフウシ\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e本研究ではサブミクロンの微細なパターンを形成できるCMOSプロセスを用いて静電容量式圧力センサを設計し、ポストプロセスによってセンサを製作する。真空封止にはパリレンを用いて室温で成膜することでLSIとの親和性が高いCMOS-MEMS圧力センサを製作する。設計には0.8μm CMOSプロセスを採用し、従来研究で使用された0.18μm CMOSプロセスよりも旧世代プロセスを用いることで安価な設計・製造手法を提案する。製作したセンサは40～100kPaの圧力範囲で感度は15.8 fF\/kPa、非直線性誤差は±1.80%となった。今後はCV変換回路と圧力センサを集積させた集積化MEMSの評価を行う。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e本誌掲載ページ: \u003c\/strong\u003e204-206 p\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 2","offer_id":46402135621871,"sku":"IEEJ-ZT20203-143-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_abb3a334-b7f0-489c-ae2b-91a4bc43f78d.png?v=1744974196","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt20203-143","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}