{"product_id":"ieej-zt20211-057","title":"RF電界・直流磁界下実ガス中電子ドリフト速度電界応答位相観察","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e1-057\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】令和3年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2021\/03\/01\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eObservation of RF response phase of electron drift velocity in real gas under RF electric and DC magnetic fields\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e中田裕也（北海道大学）\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eYuya Nakata (Hokkaido University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e誘導結合磁化プラズマ|電子ドリフト速度|モンテカルロシミュレーション|衝突周波数|電子エネルギー利得|位相|magnetized inductively coupled plasmas|electron drift velocity|monte carlo simulations|collision frequency|electron energy gain|phase\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003eRF電界E（t）と直流磁界Bの下で駆動する誘導結合磁化プラズマは、磁界による電子流制御の材料プロセス応用が期待されている。筆者らは解析例が少ないE（t）×B下の電子平均速度ベクトルWに着目し、電子エネルギー利得とWの関係を解明するためWのE（t）に対する位相差のB依存性を解析した。モンテカルロ法粒子追跡によりWを算出し、追跡終盤1RF周期のWのE×B方向、E方向各成分について、RF電界周波数fおよび2f、3fの正弦波を重ねた式でフィッティングし求めたE（t）に対する位相差が0度また\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e442 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46401965490415,"sku":"IEEJ-ZT20211-057-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_3a2d1967-bc45-48f0-a544-99dabdd3eca7.png?v=1744964666","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt20211-057","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}