{"product_id":"ieej-zt20212-018","title":"導電性カーボンナノコンポジットの陽子線描画による微細加工","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e2-018\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】令和3年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2021\/03\/01\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eMicrofabrication of conductive carbon nanocomposites by proton beam writing\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e野原悠暉（芝浦工業大学）,林秀臣（エコデザイン推進機構）,西川宏之（芝浦工業大学）\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eYuki Nohara (Shibaura Institute of Technology),Hidetaka Hayashi (Eco Design Promotion Network),Hiroyuki Nishikawa (Shibaura Institute of Technology)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e陽子線描画|微細加工|ナノコンポジット|proton beam writing|Microfabrication|nano composite\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e近年、高性能、安価で小型なセンサの開発が求められている。本研究は、微細な高アスペクト比構造形成に優れた陽子線描画[1]を用い、各種センサの高機能化を目指した導電性カーボンナノコンポジット材料による微細加工を目的とする。本報告では、導電性カーボンブラックを添加したエポキシ系ネガ型レジストのパターニングを行い、カーボン添加前のレジストパターニングと比較した。その結果、コンポジット化による陽子線に対する感度低下やパターニングサイズの変化はみられないこと、現像後の残存物が多く現像特性が低下していることや意図しない\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e382 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46401974993135,"sku":"IEEJ-ZT20212-018-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_e22aee00-80ea-405a-98e4-58b13e3b9bfc.png?v=1744965442","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt20212-018","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}