{"product_id":"ieej-zt20212-063","title":"MBE法によるZnMgTe薄膜の分子線強度変化に対する表面平坦性評価","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e2-063\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】令和3年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2021\/03\/01\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eEvaluation of crystal surface flatness with respect to changes in molecular beam intensity of ZnMgTe thin film by MBE method\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e細井菜々乃（早稲田大学）,小林昇太郎（早稲田大学）,坪井海人（早稲田大学）,安藤達也（早稲田大学）,坂本悠哉（早稲田大学）,杉本昴大（早稲田大学）,小林正和（早稲田大学）\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eNanano Hosoi (Waseda University),shotaro Kobayashi (Waseda University),Kaito Tsuboi (Waseda University),Tatsuya Ando (Waseda University),Yuya Sakamoto (Waseda University),Kota Sugimoto (Waseda University),Masakazu Kobayashi (Waseda University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e半導体|結晶成長|ZnMgTe|ガリウムヒ素|原子間力顕微鏡(AFM)|X線回折|semiconductor|Crystal growth|Zinc magnesium telluride|Gallium arsenide|Atomic Force Microscopy|X-ray diffraction\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e我々は人体間通信素子の応用に向け、MBE法を用いたZnTe基板上ZnMgTe\/ZnTe導波路の作製を行っている。導波路の結晶品質はZnMgTe層のⅡ族(Zn,Mg)とⅥ族(Te)の分子線強度によっても大きく変化する。また、導波路界面の平坦性はEO効果に重要であり、表面凹凸は光閉じ込めに大きな影響を与えると考えられている。\nそこで今回は、分子線強度比(JⅥ\/JⅡ)を変化させてGaAs基板上ZnMgTe薄膜成長を行い、X線回折とAFMにより表面平坦性の評価を行った。その結果、導波路界面に適した表面凹凸の少ない\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e681 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 2","offer_id":46401992818927,"sku":"IEEJ-ZT20212-063-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_95fbb209-7fd3-4fa5-b511-1af1f19c32c5.png?v=1744966853","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt20212-063","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}