{"product_id":"ieej-zt20212-065","title":"成長初期工程のZn照射によるサファイアr,S面ナノファセット基板上の(110)配向ZnTe薄膜の双晶抑制","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e2-065\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】令和3年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2021\/03\/01\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eTwins suppression of (110) oriented ZnTe thin film on sapphire r-plane and S-plane nano-facet substrates by Zn pre-exposure at the initial stage of the growth\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e坂本悠哉（早稲田大学）,小林昇太郎（早稲田大学）,細井菜々乃（早稲田大学）,安藤達也（早稲田大学）,杉本昂大（早稲田大学）,坪井海人（早稲田大学）,小林正和（早稲田大学）\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eYuya Sakamoto (Waseda University),Shotaro Kobayashi (Waseda University),Nanano Hosoi (Waseda University),Tatsuya Ando (Waseda University),Kota Sugimoto (Waseda University),Kaito Tsuboi (Waseda University),Masakazu Kobayashi (Waseda University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e半導体|結晶成長|テルル化亜鉛|サファイア|ナノファセット構造|極点図|semiconductor|crystal growth|zinc telluride|sapphire|nano facet structure|pole figure\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003eテラヘルツ波デバイスへの応用に向け、サファイア基板上に(110)配向のZnTe薄膜の作製を目指し、傾斜角をつけたサファイアr,S面ナノファセット基板上にMBE法を用いてZnTe薄膜を作製した。今回、成長初期工程にZn照射を導入し、基板上に形成された ZnTe 成長核の脱離を抑制しつつ、成長核の終端原子をZnに統一することにより、Sナノファセット面上に形成されたZnTe(111)の双晶抑制を試みた。また、極点図法によりサファイアS面上のZnTe薄膜の配向の種類や程度を評価した。その結果、成長初期工程のZn照\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e639 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 2","offer_id":46401981645039,"sku":"IEEJ-ZT20212-065-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_a604e062-b971-49fe-9826-9e1c8f180837.png?v=1744965995","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt20212-065","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}