{"product_id":"ieej-zt20213-021","title":"走査型プローブ顕微鏡用の電圧フィードバック制御回路の小型化とその周波数特性","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e3-021\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】令和3年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2021\/03\/01\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eMiniaturization of Bias Feedback Circuits for Scanning Probe Microscope and Its Frequency Characteristics\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e山田晃嵩（千葉工業大学）,土井敦史（千葉工業大学）,佐藤宣夫（千葉工業大学）\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eAkitaka Yamada (Chiba Institute of Technology),Atsushi Doi (Chiba Institute of Technology),Nobuo Satoh (Chiba Institute of Technology)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e電子回路|electronic circuit\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e半導体微細加工技術は，加工線幅が10 nm 以下にまで到達しており，情報通信分野における記録演算用の電子デバイスに留まらず，パワーエレクトロニクス分野でも基盤技術になっている．このことは，素子の小型化が高性能化に直結していることに他ならず，ナノスケール領域でのデバイス評価技術の重要性が増すことにもなる．そのような中で，観測精度を決定する要因の一つとなるフィードバック制御回路は，試料を安定かつ高速に観測するために必要不可欠である．本報告では，走査型プローブ顕微鏡によるナノスケール観測の精度向上のため，既存の\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e330 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46401993998575,"sku":"IEEJ-ZT20213-021-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_36c92cf2-0fd4-4f71-8d2a-bbb162b88acd.png?v=1744966990","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt20213-021","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}