{"product_id":"ieej-zt20213-139","title":"座屈ダイアフラム上圧電MEMS超音波センサの振動モード解析","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e3-139\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】令和3年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2021\/03\/01\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eVibration mode analysis of buckled diaphragms for piezoelectric MEMS ultrasonic sensors\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e出井航（京都工芸繊維大学）,藤井翔太（京都工芸繊維大学）,山下馨（京都工芸繊維大学）,西岡知記（京都工芸繊維大学）\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eWATARU DEI (Kyoto Institute of Technology),SHOTA FUJII (Kyoto Institute of Technology),KAORU YAMASHITA (Kyoto Institute of Technology),TOMOKI NISHIOKA (Kyoto Institute of Technology)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e超音波センサ|振動モード|ダイアフラム|座屈|固有振動数|ultrasonic sensors|Vibration mode|Diaphragm|Buckling|Natural frequency\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e高感度化のための座屈撓みを持つ圧電MEMSダイアフラム型超音波センサの共振振動の解析を試みた。座屈撓み形状および振動形状を両端固定梁のモード形状を用いて近似したところ, 実測に近い共振挙動を得ることができた。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e798 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46401977385199,"sku":"IEEJ-ZT20213-139-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_c54b4c65-9cda-4e96-822a-b137478756d9.png?v=1744965661","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt20213-139","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}