{"product_id":"ieej-zt20214-006","title":"走査型プローブ顕微鏡を用いたSiC製パワー半導体デバイスのナノスケール観測","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e4-006\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】令和3年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2021\/03\/01\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eNanoscale Observation of SiC Power Semiconductor Device by Scanning Probe Microscope\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e土井敦史（千葉工業大学）,田中一光（千葉工業大学）,佐藤宣夫（千葉工業大学）,山本秀和（千葉工業大学）\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eAtsushi Doi (Chiba Institute of Technology),Ikko Tanaka (Chiba Institute of Technology),Nobuo Satoh (Chiba Institute of Technology),Hidekazu Yamamoto (Chiba Institute of Technology)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e走査型プローブ顕微鏡|パワー半導体デバイス|ワイドギャップ半導体|モスフェット|走査型容量原子間力顕微鏡|scanning probe microscope|power semiconductor device|wide bandgap semiconductor|mosfet|scanning capacitance force microscope\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003eパワー半導体デバイスは，高性能化に伴いデバイス内部構造が複雑化し，副次的にデバイス評価・解析が困難になるという課題がある．永続的なデバイス開発において，デバイス評価解析技術の確立が肝心であり，高い空間分解能と好感度検出を実現する走査型プローブ顕微鏡技術に期待されている．本報告では，パワー半導体デバイスの材料組成や内部構造の制約を問わずに，観測ができるSPM装置を開発し，得られた評価結果を報告する．具体的には，市販のパワー半導体デバイスを切削・研磨することでデバイス内部を断面露出させ，電圧印加によるデバイス\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e657 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46401985741039,"sku":"IEEJ-ZT20214-006-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_a3e95b2d-1784-45fc-835a-3b354d06f491.png?v=1744966223","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt20214-006","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}