{"product_id":"ieej-zt2021s2-2","title":"粉体ターゲットを用いたスパッタリング成膜による材料探索範囲拡大への可能性","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003eS2-2\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】令和3年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2021\/03\/01\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e大島多美子（佐世保工業高等専門学校）,川崎仁晴（佐世保工業高等専門学校）,柳生義人（佐世保工業高等専門学校）,猪原武士（佐世保工業高等専門学校）,須田義昭（石川工業高等専門学校）\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e859 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 4","offer_id":46401942683887,"sku":"IEEJ-ZT2021S2-2-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_ea9127bf-4ec0-4b7e-b571-8a360878ab89.png?v=1744962880","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt2021s2-2","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}