{"product_id":"ieej-zt20223-152","title":"二つのひずみゲージを搭載したカンチレバー型MEMS触覚センサ","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e3-152\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】令和4年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2022\/03\/01\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eCantilever-type MEMS tactile sensor with two strain gages\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e岡固創（新潟大学）,髙橋佑司（新潟大学）,安部隆（新潟大学）,野間春生（立命館大学）,寒川雅之（新潟大学）\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eSo Okako (Niigata University),Yuji Takahashi (Niigata University),Takashi Abe (Niigata University),Haruo Noma (Ritsumeikan University),Masayuki Sohgawa (Niigata University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eMEMS触覚センサ|カンチレバー|ひずみゲージ|高感度|対辺2ゲージ法|MEMS tactile sensor|Cantilever|Strain gauge|High sensitivity|Active opposite-leg half-bridge system\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e本研究では，触覚センシングの高精度化のため，カンチレバー型MEMS触覚センサにおけるひずみゲージの設計を改良し，新たに設計したセンサの力に対する応答評価を行った。改良設計に関しては，力検出部であるカンチレバーの固定端左右二箇所にひずみゲージを配置し，センサの高感度化およびカンチレバーのねじり影響相殺を狙った。実験の結果，新設計センサの垂直・せん断荷重に対する感度向上を確認した。また，カンチレバーを横切るせん断荷重に対しては，左右のひずみゲージで逆の応答を示した。したがって，新設計センサは左右のひずみゲージ出力を組み合わせることで，センサ感度向上とねじり影響相殺を両立できることが示された。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e本誌掲載ページ: \u003c\/strong\u003e229-230 p\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e488 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46402029060335,"sku":"IEEJ-ZT20223-152-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_404e0bb1-b728-477d-a585-b626ef47b500.png?v=1744969376","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt20223-152","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}