{"product_id":"ieej-zt20224-001","title":"走査型プローブ顕微鏡を用いたパワーデバイス内部構造の比較および内部状態変化の観測","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e4-001\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】令和4年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2022\/03\/01\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eObservation of Comparison of Internal States in Power Semiconductor Devices Using Scanning Probe Microscope\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e土井敦史（千葉工業大学）,松井五月（千葉工業大学）,増田匠（千葉工業大学）,佐藤宣夫（千葉工業大学）,山本秀和（千葉工業大学）\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eAtsushi Doi (Chiba Institute of Technology),Satsuki Matsui (Chiba Institute of Technology),Takumi Masuda (Chiba Institute of Technology),Nobuo Satoh (Chiba Institute of Technology),Hidekazu Yamamoto (Chiba Institute of Technology)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e走査型プローブ顕微鏡|パワー半導体デバイス|ワイドバンドギャップ半導体|モスフェット|走査型容量原子間力顕微鏡|scanning probe microscope|power semiconductor device|wide bandgap semiconductor|mosfet|scanning capacitance force microscope\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003eパワー半導体デバイス，低炭素化社会及び省エネルギー化の実現に重要な役割を担うデバイスとして注目を集めている。そのパワー半導体デバイスの高性能化が求められている中，デバイス内部構造が複雑化し，デバイスの評価・解析が困難になるという課題がある。この課題を克服するために，高い空間分解能と高感度検出を可能とする走査型プローブ顕微鏡技術に期待が寄せられている。本実験では，開発した顕微鏡装置を用いて，メーカの違う2つの同耐圧のSiCプレーナ型MOSFETを切削・研磨することでデバイス内部構造を露出させ，電圧印加によるデバイス動作状態下において，表面形状\/表面電位\/微分容量の同一領域・同時観測を実施した。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e本誌掲載ページ: \u003c\/strong\u003e1-2 p\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e601 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46402029191407,"sku":"IEEJ-ZT20224-001-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_feb9ea14-0ac4-42ce-9cef-b52f94aa3b05.png?v=1744969383","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt20224-001","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}