{"product_id":"ieej-zt20251-045","title":"カーリングプローブを使った電子温度計測の可能性","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e1-045\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】令和7年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2025\/03\/01\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eProspects of Electron Temperature Measurement with Curling Probe\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e小川大輔（中部大学）,中村圭二（中部大学）\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eOgawa Daisuke,Nakamura Keiji\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eプラズマ|カーリングプローブ|計測技術|電子温度|plasma|Curling Probe|Diagnostics|Electron Temperature\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003eカーリングプローブはマイクロ波領域における共振現象を利用し，プラズマ中の電子密度の計測をすることができる。その一方で，通常このプローブを使った電子温度の計測は原理的にできないが，プローブが測定表面から数mm向こうの電子密度まで平均値を計測しているという特性と，プラズマのシース厚が電子温度に依存するという特性を利用し，電位温度の計測が可能であることがわかった。本報告ではシミュレーションソフトウェアを使った調査を示し，プローブ周辺に適切なバイアスを印加することにより，通常のプロセスプラズマで用いられる電子温度\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e本誌掲載ページ: \u003c\/strong\u003e57-59 p\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e422 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 2","offer_id":46474928292079,"sku":"IEEJ-ZT20251-045-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_44b1706e-7249-4664-b473-f84f7b528a83.png?v=1747908212","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt20251-045","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}