{"product_id":"ieej-zt20251-079","title":"ダイヤモンド膜成長用変調誘導熱プラズマにおける原料CH4ガス間歇供給遅れ時間が照射ラジカルに与える影響","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e1-079\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】令和7年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2025\/03\/01\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル：\u003c\/strong\u003eダイヤモンド膜成長用変調誘導熱プラズマにおける原料CH\u003csub\u003e4\u003c\/sub\u003eガス間歇供給遅れ時間が照射ラジカルに与える影響\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eInfluence of Delay Time of Intermittent Injection of CH4 Gas on Irradiated Radicals in Modulated Induction Thermal Plasma for Diamond Film Fabrication\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e松田航征（金沢大学）,細井大和（金沢大学）,田中康規（金沢大学）,中野裕介（金沢大学）,石島達夫（金沢大学）\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eKosei Matsuda (Kanazawa University),Yamato Hosoi (Kanazawa University),Yasunori Tanaka (Kanazawa University),Yusuke Nakano (Kanazawa University),Tatsuo Ishijima (Kanazawa University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eプラズマ|ダイヤモンド|分光観測|plasma|diamond|spectroscopic observation\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e筆者らは，独自開発した変調型誘導熱プラズマ(MITP)照射による単結晶ダイヤモンド膜の高速成長を検討している。MITPでは，入力電流波形を任意に変調することで基板に照射する熱流束・ラジカル粒子束を詳細に制御できる。本報ではコイル電流を周期15 msの鋸波変調するのに加えて，原料CH\u003csub\u003e4\u003c\/sub\u003eガス間歇供給のタイミングを電流変調周期の15 msの1\/8である1.875 msずつずらした場合のAr\/CH\u003csub\u003e4\u003c\/sub\u003e\/H\u003csub\u003e2\u003c\/sub\u003e MITPの時分解発光分光観測を行い, 基板\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e本誌掲載ページ: \u003c\/strong\u003e96-97 p\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e426 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46474938155247,"sku":"IEEJ-ZT20251-079-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_4fed0ba6-83be-4082-b544-cf077455c0f9.png?v=1747908322","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt20251-079","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}