{"product_id":"ieej-zt20251-090","title":"高繰り返しナノ秒パルスAr\/CH4グロー放電プラズマ照射により成膜したDLC膜の機械特性","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e1-090\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】令和7年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2025\/03\/01\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル：\u003c\/strong\u003e高繰り返しナノ秒パルスAr\/CH\u003csub\u003e4\u003c\/sub\u003eグロー放電プラズマ照射により成膜したDLC膜の機械特性\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eMechanical properties of DLC films prepared by high-repetition nanosecond pulsed Ar\/CH\u003csub\u003e4\u003c\/sub\u003e glow discharge plasma irradiation\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e北口蓮（兵庫県立大学）,玉越順也（兵庫県立大学）,大里辰希（兵庫県立大学）,菊池祐介（兵庫県立大学）\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eRen Kitaguchi (University of Hyogo),Junya Tamakoshi (University of Hyogo),Tatsuki Osato (University of Hyogo),Yusuke Kikuchi (University of Hyogo)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eダイヤモンドライクカーボン|高繰り返しナノ秒パルスグロー放電|成膜|Diamond-like carbon|High-repetition nanosecond pulsed glow discharge|Film deposition\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e本講演では，高繰り返しナノ秒パルスAr\/CH4グロー放電プラズマを用いて成膜したダイヤモンドライクカーボン（DLC）膜の機械特性を評価した結果を報告する。実験ではプロセスガス圧力0.36 kPa, 電源のパルス幅250 ns，周波数600 kHzとし，基板温度83℃から213℃にてプラズマを10分間照射し，膜厚約1.0 umのDLCをSi基板上に成膜した。その結果，膜硬度，膜密度は基板温度に対してほぼ線形に増加し，それぞれ約2.1 g\/cm3, 約16 GPaが得られた。また，動摩擦係数は基板温度によらず\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e本誌掲載ページ: \u003c\/strong\u003e108-109 p\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46474941726959,"sku":"IEEJ-ZT20251-090-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_3e87b38b-ad91-412f-b3de-2b967d531e05.png?v=1747908357","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt20251-090","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}