{"product_id":"ieej-zt20252-020","title":"MEMS-PZTを用いた高温用高位置分解能空間電荷分布測定システムの開発","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e2-020\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】令和7年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2025\/03\/01\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eDevelopment of High Temperature and High Position Resolution Spatial Charge Distribution Measurement System using MEMS-PZT\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e中嶋海翔（東京都市大学）,山中誠也（東京都市大学）,三宅弘晃（東京都市大学）,田中康寛（東京都市大学）,神田健介（兵庫県立大学）\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eKaito Nakashima (Tokyo City University),Seiya Yamanaka (Tokyo City University),Hiroaki Miyake (Tokyo City University),Yasuhiro Tanaka (Tokyo City University),Kensuke Kanda (University of Hyogo)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eパルス静電応力法|空間電荷分布測定|高温|薄膜絶縁材料|チタン酸ジルコン酸鉛|pulsed electroacoustic method|space charge distribution measurement|high temperature|thin film insulating material|lead zirconate titanate\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e近年，電気機器の小型化に伴い，30 μm以下の薄膜絶縁材料が高温環境下で使用されている。それらの空間電荷蓄積特性評価のために，ポリマー製薄膜圧電素子を製膜し，高温・高位置分解能の空間電荷測定装置を開発してきたが，薄膜化の限界と耐熱性により，高温での薄膜絶縁材料の評価が困難であった。本研究では，耐熱温度が600℃で，薄膜化が可能なチタン酸ジルコン酸鉛(Pb(Zr,Ti)O3: PZT)をセンサとして空間電荷分布測定装置を構築し，25μm厚の薄膜ポリイミド(polyimide: PI)フィルムを用いて140 \u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e本誌掲載ページ: \u003c\/strong\u003e21-22 p\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e412 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46474945626351,"sku":"IEEJ-ZT20252-020-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_dd3f659e-6057-4bdd-9750-421b188ecc46.png?v=1747908442","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt20252-020","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}