{"product_id":"ieej-zt20253-122","title":"Fabrication of Diaphragm Structure using Fiber Laser Local Etching","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e3-122\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】令和7年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2025\/03\/01\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eFabrication of Diaphragm Structure using Fiber Laser Local Etching\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003eMohamed ZukriMohammad Nizar（Hiroshima City University）,Al FarisiMuhammad Salman（Hiroshima City University）,HasegawaYoshihiro（Hiroshima City University）,ShikidaMitsuhiro（Hiroshima City University）\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eMohammad Nizar Mohamed Zukri (Hiroshima City University),Muhammad Salman Al Farisi (Hiroshima City University),Hasegawa Yoshihiro (Hiroshima City University),Shikida Mitsuhiro (Hiroshima City University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eファイバレーザ|局所エッチング|ダイアフラム構造|再付着除去|冷却プロセス|ガウシアンビームプロファイル|Fiber Laser|Local Etching|Diaphragm Structure|Redeposition Removal|Cooling Process|Gaussian Beam Profile\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(英語): \u003c\/strong\u003eThis study focuses on fabricating diaphragm structures for sensors and micro-actuators using fiber laser local etching. Challenges such as material redeposition, surface discoloration, and tearing, caused by the Gaussian beam profile, thermal effects, and\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e本誌掲載ページ: \u003c\/strong\u003e182-183 p\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e英語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e447 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46474965745903,"sku":"IEEJ-ZT20253-122-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_e5fe4354-6940-4460-9c49-2a9fb3d4d986.png?v=1747909029","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt20253-122","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}