{"product_id":"ieej-zt20254-090","title":"SiC SBD高温・高湿バイアス試験後の周辺耐圧領域解析","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e4-090\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】令和7年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2025\/03\/01\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eAnalysis of the edge termination areas in SiC SBDs after temperature humidity bias tests\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e阿部洸太（筑波大学）,矢野裕司（筑波大学）,岩室憲幸（筑波大学）\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eKouta Abe (University of Tsukuba),Hiroshi Yano (University of Tsukuba),Noriyuki Iwamuro (University of Tsukuba)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eSiC SBD|高温・高湿バイアス試験|周辺耐圧構造|陽極酸化|SiC SBD|temperature humidity bias tests|edge termination areas|anodic oxidation\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e高温・高湿バイアス試験（THB試験）後のSiC SBDにおいて，素子耐圧特性が劣化するという事例が報告されている。本研究では1.2-kV SiC SBDにTHB試験1000時間を実施し，その耐圧特性変動並びに素子解析を実施した。その結果，耐圧特性に変化はないものの周辺耐圧構造部のSiCと保護膜間にSiO2が成長していることを確認した。このSiO2は陽極酸化により成長した可能性が高い，と結論付けた。そしてこの陽極酸化によるSiO2の成長により，SiCと保護膜間の剥離が生じることで素子耐圧特性が劣化する可能性\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e本誌掲載ページ: \u003c\/strong\u003e143-145 p\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e566 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 2","offer_id":46476880773359,"sku":"IEEJ-ZT20254-090-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_e814d04e-af16-45a9-aaa4-d19a4464b985.png?v=1747993478","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt20254-090","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}