高い波長選択性を有するMEMS可変カラーフィルタに向けた 自立金属-誘電体-金属サブ波長格子によるプラズモニックカラーフィルタ

カテゴリ: 部門大会

論文No: 01am2-PS-113

グループ名: 第34回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2017/10/24

タイトル(英語): Fabrication of plasmonic color filter by freestanding metal-insulator-metal gratings for MEMS tunable filter

著者名: 満留 将人(豊橋技術科学大学),澤田 和明(豊橋技術科学大学),高橋 一浩(豊橋技術科学大学)

著者名(英語): Masto Mitsudome| Kazuaki Sawada |Kazuhiro Takahashi

キーワード: プラズモニックカラーフィルタ,MEMS,表面プラズモン,メタマテリアル,可変フィルタ

要約(日本語): 本論文では、MEMS可変カラーフィルタの波長選択性を向上に向けた自立MIMサブ波長格子の製作と光学特性について報告する。製作したMIMフィルタは同一格子幅と格子周期400, 450, 500 nmによって、λ=495, 510, 585 nmの透過色が得られていることが確認できた。従来フィルタに対して長波長側の光漏れを抑制することが確認され、xy色度図の透過色度エリア拡張が確認できた。よってMIM格子による波長選択性の向上が示唆された。

要約(英語): This paper reports on a plasmonic color filter composed by freestanding metal-insulator-metal (MIM) subwavelength gratings to improve optical properties in terms of wavelength selectivity and transmittance. MIM graings were released by sacrificial process using isotropically Si etching. Fabricated MIM gratings demonstrated transmissive multispectral color filters depending on the period of the grating and improveed wavelength selectivity by suppresion of light leackage of long wavelength side.

PDFファイルサイズ: 621 Kバイト