Capacitive silicon nanomechanical resonators capable of selective vibration of high-order mode

カテゴリ: 部門大会

論文No: 01am2-PS-119

グループ名: 第34回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2017/10/24

タイトル(英語): Capacitive silicon nanomechanical resonators capable of selective vibration of high-order mode

著者名: Nguyen Van(東北大学),Toan(東北大学),Tsuyoshi Shimazaki(東北大学),Naoki(東北大学),Inomata(東北大学),Takahito Ono(東北大学)

著者名(英語): Toan Nguyen|Van |Tsuyoshi Shimazaki| Naoki|Inomata |Takahito Ono

キーワード: Capacitive silicon resonator,Nanomechanical resonator,High-order mode,Selective vibration,Internet of things

要約(日本語): High-order mode capacitive silicon resonators by placing the driving electrodes along the resonant body are produced and examnimated.

要約(英語): High-order mode capacitive silicon resonators by placing the driving electrodes along the resonant body are produced and examnimated.

PDFファイルサイズ: 1,827 Kバイト