間欠駆動型MEMSジャイロセンサにおけるキャッチ及びリリース条件の最適化検討

カテゴリ: 部門大会

論文No: 01am2-PS-121

グループ名: 第34回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2017/10/24

タイトル(英語): INVESTIGATION OF CATCH-AND-RELEASE CONDITION IN AN INTERMITTENT FREE VIBRATION MEMS GYROSCOPE

著者名: 前田 舜太(東芝),久保 悠(東芝),丸藤 竜之介(東芝),増西 桂(東芝),冨澤 泰(東芝),小川 悦治(東芝),畠山 庸平(東芝),板倉 哲朗(東芝),池橋 民雄(東芝)

著者名(英語): Shunta Maeda()

キーワード: MEMS,ジャイロスコープ,低消費電力,高速起動,自由振動

要約(日本語): 本研究ではキャッチ&リリース方式の振動型MEMSジャイロスコープ(CR-G)における駆動条件の最適化検討を行った。CR-Gでは検出マスの自由振動時にコリオリ検出を行い,その後,極大振幅状態において検出マスを静電的に捕縛する。このキャッチ&リリースを繰り返す方式により,消費電力と起動時間を大幅に低減できる。今回我々は,電極サイズあるいはキャッチ時の電極間ギャップを縮小することでキャッチ電圧を低減できることを確認した。

要約(英語): This paper addresses conditions to optimize Catch-and-Release drive MEMS gyroscope, where Coriolis detection is performed in its free vibration (release-state) and the mass is then captured at the maximum amplitude (catch-state). This scheme enables significant drive power reduction and instant startup. We show key parameters to minimize a catch voltage are electrode size and gap in the catch-state.

PDFファイルサイズ: 656 Kバイト