高性能コールター計測のための局所電極付きナノポア構造の作製

カテゴリ: 部門大会

論文No: 01am2-PS-125

グループ名: 第34回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2017/10/24

タイトル(英語): Fabrication of Nano-Pore Structure with Local Electrodes for High Performance Coulter Measurement

著者名: 竹城 雄大(東京大学),宇佐美 尚人(東京大学),高田 武晃(アドバンテスト),池野 理門(東京大学),鷲津 信栄(アドバンテスト),浅田 邦博(東京大学),三田 吉郎(東京大学)

著者名(英語): Yudai Takeshiro| Naoto Usami |Takeaki Takada| Rimon Ikeno |Nobuei Washizu| Kunihiro Asada |Yoshio Mita

キーワード: MEMS,コールター計測,ナノポア,ナノ粒子,マルチチャネル

要約(日本語): 本稿では、コールター計測に局所電極が集積されたナノポア構造を用いることを提案する。コールター計測は高精度な測定が可能であるが、測定対象とする粒子が小さくなるほど、測定を行う際の電流が小さくなり、またスループットが低くなる問題が存在する。そこで提案する局所電極付きナノポア構造を用いることにより、寄生容量の減少、また多並列化によるスループット向上をはかることができ、これらの問題を解決することが可能である。

要約(英語): In this article, we propose a nano-pore structure integrated with local electrodes for particle measurement using Coulter's method. Owing to the nature of the principle, Coulter's counter can achieve high resolution measurement in spite of the simple structure. However, since the output current and throughput is very low, some issues remain when the method is applied to nano-particle count. Our proposed method can solve the current and throughput issues by reducing parasitic capacitance.

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