圧電MEMS超音波センサ用ダイアフラムの静的撓み量が振動モードに与える影響

カテゴリ: 部門大会

論文No: 01am2-PS-139

グループ名: 第34回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2017/10/24

タイトル(英語): Influences of static deflections to vibration modes of MEMS diaphragms for piezoelectric ultrasonic microsensors

著者名: 西岡 知記(京都工芸繊維大学),山下 馨(京都工芸繊維大学),野田 実(京都工芸繊維大学)

著者名(英語): Tomoki Nishioka| Kaoru Yamashita |Minoru Noda

キーワード: 超音波センサ,ダイアフラム,座屈,振動モード,パルス応答

要約(日本語): 様々な静的撓み量を持つ圧電MEMS超音波センサ用ダイアフラムを作製し,静的撓みがパルス超音波受信時の振動モードに与える影響を評価した。 ダイアフラムの撓み量が8 μm以下の場合は複数の振動モードが出現するが,撓み量が9 μm以上の場合は単一の振動モードのみが支配的に現れる。このことから,ダイアフラムの撓み量が大きくなると単一の振動モードが支配的に現れ,歪みの少ない圧電出力波形を得られる可能性が示唆された。

要約(英語): Influences of static deflections have been evaluated over vibration modes of MEMS diaphragms for piezoelectric ultrasonic sensors. The results suggest that the diaphragms with large static deflections over a threshold cause a single dominant vibration mode and result in a piezoelectric output with less distortion than those with deflections below the threshold.

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