極薄絶縁層を有するシリカ凝集体エレクトレットを用いた空中超音波センサーの製作と特性評価

カテゴリ: 部門大会

論文No: 01am2-PS-149

グループ名: 第34回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2017/10/24

タイトル(英語): Fabrication and Characteristic Evaluation of Aerial Ultrasonic Sensor Using Silica Agglomerate Electret with Ultra-thin Insulation Layer

著者名: ビンジャマルディン アハマドザリフアフィック(埼玉大学),陰山 健介(埼玉大学)

著者名(英語): Ahmad Zharif Afiq Bin Jamaludin |Kensuke Kageyama

キーワード: ECS,エレクトレット,PFA,PTFE,シリカ凝集体

要約(日本語): 極薄絶縁層を有するシリカ凝集体エレクトレットを用いた空中超音波センサーを製作し、送受信感度の向上を試みた。上部および下部電極上の絶縁層は、PTFEディスパージョンを3000rpmでスピンコートし、その後、仮焼きを行った。シリカ 凝集体を上部電極の絶縁層の複合層に適用した。極薄PTFE層を有するECSは、従来のECSよりも高い共振周波数および送受信感度を示した。

要約(英語): Electret condenser sensor (ECS) using silica agglomerate with ultra-thin insulation layer was fabricated to enhance the sensitivity of transmitting and receiving for ultrasonic sensing in air. The insulation layers on top and bottom electrodes were formed from PTFE dispersion via spin coating deposition, followed by sintering. Silica-agglomerate were applied in composite layer on the insulation layer of the top electrode.

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