Pt触媒を用いたWO3系多層薄膜NH3ガスセンサの研究

カテゴリ: 部門大会

論文No: 01am2-PS-151

グループ名: 第34回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2017/10/24

タイトル(英語): Study on NH3 gas sensors using a WO3-based multiple-layered thin film with Pt catalyst

著者名: 森田 翼(東京電機大学),佐野 晃司(東京電機大学),山口 富治(東京電機大学),原 和裕(東京電機大学)

著者名(英語): Tsubasa Morita| Koji Sano

キーワード: NH3ガスセンサ,WO3薄膜,Pt触媒,空隙,多層構造

要約(日本語): NH3は環境や人の健康に悪影響を与える物質である。Pt触媒を用いた新しいWO3系多層薄膜NH3センサを開発した。Ptナノ粒子で被覆されたWO3系多層薄膜はNH3ガスに対する感度を改善する。また、空隙を有するWO3系多層薄膜は感度を改善し、最適な動作温度を低下させる効果を有する。

要約(英語): NH3 is a substance that adversely affects the environment and human health. A novel WO3 multiple-layered thin film NH3 sensor using a Pt catalyst is developed. WO3 thin film coated with Pt nanoparticles successfully improves the sensitivity to NH3 gas. WO3 multiple-layered thin film having an interspace has the effect of improving the sensitivity and lowering the optimum operating temperature.

PDFファイルサイズ: 777 Kバイト