室温硬化ガラスを基材としたフォトニック結晶導波路の設計と作製

カテゴリ: 部門大会

論文No: 01am2-PS-159

グループ名: 第34回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2017/10/24

タイトル(英語): Design and fabrication of room-temperature-curing glass based photonic crystal waveguide

著者名: 町野 泰基(大阪府立大学),孫 佳儀(大阪府立大学),前野 権一(大阪府立大学),安藝 翔馬(大阪府立大学),佐藤 和郎(大阪産業技術総合研究所),村上 修一(大阪産業技術総合研究所),山東 悠介(大阪産業技術総合研究所),金岡 祐介(大阪産業技術総合研究所),末吉 健志(大阪府立大学),久本 秀明(大阪府立大学),遠藤 達郎(大阪府立大学)

著者名(英語): Taiki Machino| Jiayi Sun |Kenichi Maeno| Shoma Aki |Kazuro Sato| Shuichi Murakami |Yusuke Sando| Yusuke Kanaoka |Kenji Sueyoshi| Hideaki Hisamoto |Tatsuro Endo

キーワード: フォトニック結晶,フォトニック結晶導波路,フォトニックバンドギャップ,光学センサ,ナノインプリントリソグラフィー

要約(日本語): フォトニック結晶導波路(PC)は、誘電ナノ周期構造を有する光学デバイスであり、特定波長光を反射させることができる。一方でPC内へ線欠陥を導入すると線欠陥内に光導波可能なフォトニック結晶導波路(PCW)となり、近年ではセンサへの応用が期待されている。しかし、これまでに報告されているPCWは作製が煩雑という課題があった。本研究では、室温硬化ガラスとナノインプリントリソグラフィーを用いて簡便にPCWを作製したので報告する。

要約(英語): Photonic Crystal Waveguide (PCW) permit the light at the specific wavelength to pass in the waveguide. PCW can be applied to label-free biosensors. However, conventional PCW has several disadvantages. To overcome disadvantages, in this study PCW that made of SiO2 was fabricated using nanoimprint lithography.

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