水晶振動子式水素センサにおける鍍金白金触媒の最適化

カテゴリ: 部門大会

論文No: 01am2-PS-161

グループ名: 第34回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2017/10/24

タイトル(英語): Optimization of Electroplated Platinum Catalyst for Quartz Hydrogen Sensors

著者名: 大井川 寛(KOA),播磨 幸一(KOA),幸坂 扶佐夫(早稲田大学),津野 徹(早稲田大学),植田 敏嗣(早稲田大学)

著者名(英語): Hiroshi Oigawa| Koichi Harima |Fusao Kohsaka| Tooru Tsuno |Toshitsugu Ueda

キーワード: ガスセンサ,ガスセンサ,白金触媒,電気鍍金,水晶振動子

要約(日本語): 本稿では,白金黒触媒と振動子のQ値の関係性を実験的に調査し,水晶振動子式水素センサにおける最適な触媒形成条件について検討した結果について報告する。真空中のQ値を用いた計算結果より,振動減衰の原因が膜内部で発生していることを示した。複数の膜厚について比較した結果より,厚さ100 nm程度の薄い白金黒触媒が最も高いQ値と水素感度を示すことを見つけた。

要約(英語): In this paper, in order to realize stable vibration and excellent hydrogen sensitivity, an optimal fabrication condition of platinum-black catalyst on the hydrogen sensor using quartz resonators is investigated. Based on calculation result using Q-factor of sensor resonator at vacuum condition, it is clarified that great vibration energy loss has generated inside of the catalyst. As a result, the thinner catalyst with thickness of around 100 nm is presented as an optimal thickness for the platin

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