NANOTRANSFER METHOD FOR THE FERROELECTRIC FILMS ONTO THE POLYMER SUBSTRAT

カテゴリ: 部門大会

論文No: 01pm1-B-3

グループ名: 第34回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2017/10/24

タイトル(英語): NANOTRANSFER METHOD FOR THE FERROELECTRIC FILMS ONTO THE POLYMER SUBSTRAT

著者名: 一木 正聡(産業技術総合研究所),牧野 翔(産業技術総合研究所)

著者名(英語): Masaaki Ichiki| Sho Makino

キーワード: ナノトランスファー法,キャパシタ,PZT,特性評価,I-V

要約(日本語): 高機能で小型高性能な電子機器の実現のためには、多層・高機能電子回路基盤の実現が必要であり、このために高性能キャパシタの製造技術の開発が必要となる。本研究では予め耐熱性の基板上で作製したキャパシタを剥離・転写により回路基板上の形成する技術について説明する。幾つかの素子性能についても報告する。

要約(英語): An approach for embedding high dielectric capacitors has been developed. PZT (Pb(Zr, Ti)O3), Lead Zirconate Titanate) thin films were prepared using chemical solution deposition on Pt layer sputtered directly on Si/SiO2. After high temparature annealing, PZT thin films and Pt layer were transferred into another substrates coated Pt bottom electrode using nano-imprint instruments and formed capacitor composed of Pt layer as a top electrode, PZT as a dielectric and Pt layer as a bottom electrode.

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