Ir/YSZ/Si上に成膜したダイヤモンドを用いた振動子の作製と評価

カテゴリ: 部門大会

論文No: 01pm4-PLN-11

グループ名: 第34回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2017/10/24

タイトル(英語): Fabrication and evaluation of diamond resonators deposited on Ir/YSZ/Si

著者名: 持丸 裕矢(東北大学),戸田 雅也(東北大学),小野 崇人(東北大学)

著者名(英語): Yuya Mochimaru| Masaya Toda |Takahito Ono

PDFファイルサイズ: 623 Kバイト