ZnO単結晶層を用いたUVセンサ感度向上のための電極間距離依存性の検討

カテゴリ: 部門大会

論文No: 01pm4-PLN-13

グループ名: 第34回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2017/10/24

タイトル(英語): Study on Electrode Distance Dependence of UV Sensor Applying ZnO Single-crystalline Layer to Improve its Sensitivity

著者名: 信太 智貴(東京電機大学),小倉 康平(東京電機大学),水野 愛(東京電機大学),安藤 毅(東京電機大学),篠田 宏之(東京電機大学),六倉 信喜(東京電機大学)

著者名(英語): Tomoki Shinta| Kohei Ogura |A-i Mizuno| Ki Ando |Hiroyuki Shinoda| Nobuki Mutsukura

PDFファイルサイズ: 495 Kバイト